硅片甩干機也稱為晶圓甩干機或SRD(spin rinse dryer)，是一種用于半導(dǎo)體制程中清洗后干燥晶圓的設(shè)備。其工作原理主要是利用離心力和揮發(fā)性有機溶劑來干燥硅片，它是半導(dǎo)體制造過程中不可少的設(shè)備，對于保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率具有重要作用。
 

　　1.離心力脫水：硅片在濕化學(xué)過程后需要清洗和干燥，SRD通過高速旋轉(zhuǎn)的離心力將硅片上的水分甩出，實現(xiàn)快速脫水。根據(jù)晶片運動方式的不同，離心甩干可以分為立式和水平式兩種類型，二者雖然在工藝上有所差異，但脫水原理相似。
 

　　2.IPA蒸汽干燥：IPA(異丙醇)因其揮發(fā)性強和混溶性好的特點，常用于晶圓的干燥過程。IPA可以與水混溶，并在一定的條件下迅速揮發(fā)，帶走混合液體中的水分，從而干燥晶圓。這種方法對微細(xì)結(jié)構(gòu)友好，避免了機械力可能導(dǎo)致的晶圓破壞，并且可以減少顆粒污染。但需要注意的是，IPA易燃，操作時需遵守安全規(guī)定并確保良好通風(fēng)。
 

　　3.自動化設(shè)備設(shè)計：電氣系統(tǒng)通常采用變頻器調(diào)速和PLC控制，以確保操作的穩(wěn)定性和可靠性。機械部分設(shè)計要求能夠適應(yīng)不同尺寸的電池片，并在高速旋轉(zhuǎn)和特大離心力的作用下保持穩(wěn)定。

 

　　一、硅片甩干機的開機
 

　　1.打開氣閥，然后合上總電源開關(guān)、及各個主電源開關(guān)；
 

　　2.打開操作屏左側(cè)的電源啟動按鈕蓋，按一下操作屏左側(cè)上的紅色“電源”按鈕，打開操作屏電源。
 

　　二、硅片甩干機的基本操作
 

　　1.點擊“手動畫面”進(jìn)入手動調(diào)試畫面，該畫面有“低速關(guān)/開、高速關(guān)/開”按鍵。在參數(shù)設(shè)定畫面設(shè)定好低速噴水轉(zhuǎn)速和高速噴氮轉(zhuǎn)速后，在手動調(diào)試畫面調(diào)試電機離心轉(zhuǎn)速情況。
 

　　2.點擊“參數(shù)設(shè)置”按鍵彈出“請輸入密碼：“”。點擊“”鍵，彈出數(shù)字鍵輸入密碼“123456”后點擊數(shù)字鍵上的“ENT”鍵確認(rèn)后再點擊“進(jìn)入”按鍵打開參數(shù)設(shè)置畫面進(jìn)行“低速噴水時間、高速噴氮時間、低速噴水轉(zhuǎn)速、高速噴氮轉(zhuǎn)速、參數(shù)復(fù)位、加熱關(guān)/開、自動關(guān)/開”等設(shè)置。
 

　　3.設(shè)置溫度，按溫控儀上的上下調(diào)整按鈕進(jìn)行工藝溫度設(shè)定。
 

　　4.按一下操作面板上的“開門”按鈕，甩干機操作屏首頁畫面上的“鎖關(guān)”轉(zhuǎn)換成“鎖開”，甩干機門打開。
 

　　5.兩手同時按下操作面板上的“關(guān)門”按鈕，甩干機操作屏首頁畫面上的“鎖開”轉(zhuǎn)換成“鎖關(guān)”，甩干機門關(guān)閉。
 

　　6.按一下操作屏上的“啟動按鈕，自動運行甩干機。
 

　　7.點擊“報警記錄”進(jìn)入報警記錄界面，查看報警記錄。
 

　　8.設(shè)備運行時出現(xiàn)異常情況，及時按下操作屏右側(cè)的“急停”按鈕，松開“急停”按鈕按“急停”按鈕上的箭頭旋轉(zhuǎn)退出急停狀態(tài)。
 

　　三、硅片甩干機的關(guān)機
 

　　1.按操作屏下的“電源”按鈕，關(guān)閉操作屏電源。
 

　　2.關(guān)閉氣閥、然后關(guān)閉總電源開關(guān)及各個主電源開關(guān)。